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复合真空计—ZDF系列
ZDR-12B电离真空计
低真空计—ZDZ系列
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真空计检漏法



  它们的读数与气体种类有关,选用适当的气体作为示漏气体,这些真空计**是很好的探测器。 
  用热真空计检漏时,示漏物质可用氢,二氧化碳,丙酮,乙醚,酒精等。一般说来,用气体喷吹比用液体覆盖为好,因为液体往往会堵塞漏孔,还会污染真空系统或器件,热真空计因为惯性大,反映慢,检漏时巡喷速度不宜过快,并要仔细观察,认真判别是系统的压强波动,仪器的漂移 或是真正存在漏孔。只有示漏物质离开后,仪器指示恢复原状的,才是真正的漏孔。热真空计检漏,要在它的测量范 围的真空度下,才能有效,即只适用于10-1—10-3 托的真空度范围。它能检出的**小 漏孔为1*10-5 托升/秒。
  用电离计检漏时,示漏物质应选用电离效果与残余气体有尽可能大差异者,电离效果包括电离几率及电离电位两者的综合结果,一般用氢,氦,氩,二氧化碳等。
  电离计的反应比热真空计快,但因示漏气 体在真空系统中建立足够分压需要较长时 间,故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力范围,大致同于其测量范围,故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。电离计能检的**小可检漏孔约为 1*10-6—1*10-7 托升 / 秒。
  在真空计检漏中,即使示漏气体对着漏孔喷吹,或者示漏液体涂于漏孔,实际上都不可避免要夹带有空气进去,即示漏物质并没有****取代空 气。带进去的空气一方面冲淡了示漏物质 的作用,另一方面还会引起不必要的读数 波动,因为混进的空气分量时大时小。
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